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特殊氣體配管工程 Special Gas Supply System 特殊氣體 (special gas , 另稱process gas) 共可分為腐蝕性氣體、惰性氣體、可燃性氣體及爆炸性氣體、毒性氣體等半導體製造，以氧化、化學氣相沈積、磊晶蝕刻、離子植入和金屬濺鍍等製程最常用到特殊氣體。...
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日期：2024-04-22
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