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![奈米新世界 > 奈米的應用 > 光電資訊 > 微機電系統]()
nano.nstm.gov.tw微機電系統，是在1980年後新成立的研究領域，但在歐洲「微機電系統」被稱為「微系統技術」。 微機電系統簡稱為MEMS，是指利用「半導體製程」製作出來各種微型機電整合系統。微機電系統的應用範圍很廣，包含了控制電路、微感測器與微驅動器等，其 ...瀏覽：853 -
![微機電系統與奈米科技 - 國內學術電子期刊系統]()
ejournal.stpi.narl.org.tw微機電系統（micro electro mechanical systems，. MEMS）的組成包括：微感測器、微驅動器、及控制電. 路，其技術與應用涵蓋了工程、科學和醫學領域。此技. 術在一九 ...瀏覽：904
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2014年7月29日 ... 【一手掌控的未來革命】半導體製程技術推進了微機電系統的發展，更將未來推向微小
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2012年6月25日 ... MEMS時代意義➻➻➻. 運用日廣，情勢一遍大好，為未來之明星熱夯產品。 微機電
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