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日期:2025-05-13
說明: 以數位式 Mass Flow Controller 為量測控制元件,可準確控制所 通過氣體質量,不受環境溫度、壓力影響。 Mass Flow Controller 量測介紹: 質流控制器(Mass Flow Controller)一般簡稱MFC。它是一種流量計與控制 閥組的精密機電組合,與一般流量計最大的差別 ......
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日期:2025-05-13
D07-16A 使用金屬止洩及類比式電路,Full Scale 最低達5 sccm,可使用於高inlet壓力氣體,可替代多數的標準型MFC。 ... AFM 10: 流量控制器適用於取代旋轉式流量計,流量控制從 2slm 至 60slm,採用黃銅製做,尺寸小及適合用於真空控制。...
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日期:2025-05-11
包括數位MFC(氣體控制用質量流量器)、MFM(質量流量計),具多功能、節省成本、易於使用之特點。多種類產出選項,可用類比式控制或是數位式控制。同時有單一氣體與多項氣體。 Transformer系列 可應用於CVD、PVD、擴散、蝕刻等製程。...
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日期:2025-05-08
我們常見的類比式質量流量計是根據用戶提供單一固定的參數(氣體類型與流量範圍)做校正,當校正完成後,該類比式流量計只能測量單一的氣體,用戶也不能修改固定的參數。Smart-Trak 100系列可以讓用戶根據現場測量的介質或不同工況來改變內部參數以方便 ......
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日期:2025-05-12
質量流量計 MFM & MFC 數位式質量流量計 類比式質量流量計 渦流式質量流量計 熱式質量流量計 超音波質量流量計 氣體流量校正系統 ... 氣體流量校正系統...
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日期:2025-05-07
MFC ‐熱虹吸效應(Thermal siphoning) 氣體因加熱位置與地心引力的相對應關係而產生熱對流現象 加熱 Lower density 上表面加熱使氣體呈現下重上輕現象 high density 因地心引力影響下熱空氣往上跑造成自由 Gas flow...
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日期:2025-05-10
質量流量控制器(MFC)是一種流量計與控制閥組的精密機電組合,利用非接觸式的流量感測器來測量氣體的質量流量並做自動閉迴路(Feedback control)的流量控制。...
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日期:2025-05-07
質量流量控制器(MFC)是一種流量計與控制閥組的精密機電組合,利用非接觸式的流量感測器來測量氣體的質量流量並做自動閉迴路(Feedback control)的流量控制。...