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日期:2025-04-29
五、濕蝕刻設備清潔法 濕蝕刻 設備的清潔法主要有晶圓沖洗式、超音波清洗、噴灑式清潔、刷洗,清洗後必須 ... 系統以PID控制原理 計算控制補酸量,達到濃度 穩定的目的。溢溢流流 循循環環 循循環環 ......
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日期:2025-04-29
3.2 濕蝕刻原理.....11 3.2.1 光電化學濕蝕刻法對於光源的限制.....11 3.2.2 未偏壓下,光電化學濕蝕刻無法蝕刻p 型氮化鎵...13 3.2.3 擴散或反應限制蝕刻機制.....18 3.2.4 水合作用.....18 3.2.5 濕蝕刻與晶格缺陷.....20 3.2.6 濕蝕刻速率與金屬光 ......
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日期:2025-04-25
... 我想要對於這二個製程再多了解一點來做蝕刻製程的報告所以希望各位大大可以給我有關於濕蝕刻和乾蝕刻的技術介紹 ... 在本章節中,將針對半導體製程中所採用的蝕刻技術加以說明,其中內容包括了濕式蝕刻與乾式蝕刻的原理 ,以及其在 ......
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日期:2025-04-29
3-18蝕刻技術(Etching technology) 詳細內容 發佈於:2012-08-04, 週六 17:59 蝕刻的原理 「蝕刻(Etching)」是以化學藥品與材料產生化學反應,將材料中不需要的部分溶解而去除掉,而保留下需要的部分,目前使用的方法有「濕式蝕刻技術」與「乾式蝕刻技術」兩 ......
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日期:2025-04-25
各種補償方式及其原理 針對以上不同的最快蝕刻 面,各研究者發 展出不同的補償方式,如圖6、圖7、圖8。 underetch 光罩 ... 3.5 各種補償模擬蝕刻比較 若要以非等向性濕蝕刻 得到島狀結構,必 須從光罩圖形上來進行補償。根據以上所提的光 罩補償方式 ......
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日期:2025-04-27
奈米球之乾式蝕刻 實驗目的‖實驗器材‖ 實驗原理 ‖ 實驗方法及步驟 ‖ 實驗結果 一. 實驗目的: 氧電漿如何蝕刻有機材料 二. 實驗儀器: 1. 矽基板及 500nm 球溶液 2....
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日期:2025-04-27
軟式電路板產業至今仍採取濕蝕刻製程,但由於濕蝕刻會產生線路輪廓底切問題,其實底切的發生與蝕刻過程中的等向性有相對的關聯。所以本研究將依據蝕刻原理針對氯化銅(CuCl2) 藥液特性配合參數進行實驗測試,探討以下四個參數條件:1.蝕刻藥液濃度 ......