search:真空殘留氣體相關網頁資料

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    2009年12月18日 ... 請使用永久網址來引用或連結此文件: http://cycuir.lib.cycu.edu.tw/handle/ 310900400/4347. 題名: 殘留氣體分析儀在真空設備之應用. Applications ......
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    真空系統不可能完全不漏氣,因此只要漏氣率符合真空腔體出廠時的規格即可。 3. ... 真空度. 壓力範圍(torr). 抽氣幫浦. 主要殘留氣體. Rough Vacuum. 760 ~ 1....