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日期:2024-05-14
矽甲烷(四氫化矽, Silane, SiH4)常溫下為無色的自燃性氣體,其爆炸界限介於1.37% 至96%。因其自燃特性, ......
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日期:2024-05-11
同義名稱:矽甲烷(SILANE、SILICON TETRAHYDRIDE、Monosilane). 化學文摘社登記號碼(CAS No....
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日期:2024-05-14
矽甲烷(SiH4)在正常自燃溫度下排放或洩漏時具有自動燃燒著火的特性,. 而其燃燒後生成二氧化矽白色 ......
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日期:2024-05-14
矽甲烷(四氫化矽)是一電子特氣,自1960 年代第一個積體電路製造開始運. 作後便廣泛使用於半導體製造 ......
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日期:2024-05-09
TFT-LCD 產業矽甲烷使用量倍數. 於半導體製程的使用量,以半導體的. 事故為例: JSIA1988~1998 統計 ......