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![Chapter 7 電漿的基礎原理]()
www.google.com.tw1. Chapter 7. 電漿的基礎原理 ... 高密度電漿(High density plasma ,HDP)的游. 離率 約1∼5%. • 太陽中心處 ... 射頻(Radio frequency, RF) 功率是最普遍. 的功率來源.瀏覽：1094 -
![靜電吸盤(E-chuck) - 筑波精工]()
www.google.com.tw什麼叫E-chuck？｜與他社的區別｜HPTS的優點. 什麼叫E-chuck-.jpg. _MG_6783. jpg E-chuck是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。 與他社 ...瀏覽：798
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初步怀疑原因是ESC结束后，残余的电荷没有完全释放，致使基板还吸附 ..... 另外，
吸附无法释放的原因与ESC是何种结构和原理有关系，有双极性的 ......
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感應耦合原理示意圖. 圖4-1 .... 矩形結構，其基本的運作原理都是利用光柵表面的
特殊結構製造光程. 差的不同，進而使 ..... (E-chuck)來控制晶圓的溫度。在感應耦合
電 ......
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日期：2025-10-27
近期e chuck 原理,e ink電子書2012,e ink 原理有15筆有關e ink技術,e ink,e ink手機
生活常識,india ink stain原理,india ink 染色原理,india ink 原理詳情,e beam原理 ......
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電子吸盤E-Chuck 有何特色? 1. 庫倫力型電子吸盤。 2. 對絕緣體也發揮安定的吸附
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靜電吸盤（Electrostatic Chuck,ESC）已經廣泛的被半導體界所使用，而現在更應用到
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