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![國立中山大學 光電工程研究所 碩士論文]()
etd.lib.nsysu.edu.tw由文獻中不同基板 溫度造成 ITO 薄膜的 結晶 關係可知，當基板 溫 度高於100 時，才慢慢的有 結晶繞射峰產生，而基板 ...瀏覽：467 -
![ITO薄膜材料問題 - Yahoo!奇摩知識+]()
tw.knowledge.yahoo.com那個方塊念square,Ω/square, ITO film 因本身製程 溫度不能太高，所以 ITO結晶不完全，所以各項環測都不比玻璃好，但是價格可比 ...瀏覽：962
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瀏覽：1375
日期：2025-06-07
時候，已經超過了ITO 的再結晶溫度(約在150~170℃)，使得分子重. 新排列，產生
非常微小的結晶邊界，因為有許多的微小晶 ......
瀏覽：688
日期：2025-06-07
的化合物。 （CFI內實際上所使用的ITO 靶材為In O ：SnO =90：10［重量％］） .... 一般
的話，ITO薄膜會依成膜時的基板温度不同而生 ... 多結晶. 籍由Annealing可降低電阻
値。 捷胤工業有限公司. NEW JEIN Corp....
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日期：2025-06-09
圖4-2 不同溫度下蒸鍍ITO 薄膜於玻璃基板之電阻變化圖…………………27 .... OIn
因為結晶構造上的內部缺. 陷，才顯示出 ......
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日期：2025-06-12
2006年6月7日 ... ITO成膜溫度：300 ~ 400 °C. ◇ Color filter玻璃之ITO成膜. 溫度：< 220 °C. 溫度↑
→ 結晶性↑ → τ↑ → µ ......
瀏覽：1349
日期：2025-06-11
ITO玻璃. 玻璃切割. 玻璃清洗. 熱退火處理. 玻璃量測. 結晶結構量測. XRD. 電性量測
... 各退火溫度對ITO 電阻值之影響圖....
瀏覽：1442
日期：2025-06-11
下即為一安定的結晶相，故所形成之ITO 薄膜其晶系應. 屬於立方晶 ... 響，如鍛燒的
溫度與時間，鍛燒處理時的環境，例如在....
瀏覽：510
日期：2025-06-06
2013年1月2日 ... 结果表明，退火后ITO 薄膜的结晶度得. 到明显改善，晶相择优生长，晶粒尺寸变大，
薄膜电导率随退火温度 ......
瀏覽：478
日期：2025-06-05
因此薄的ITO薄膜在大氣退火的條件下，需要更高的退火溫度才能結晶使電性變好，
同時在結晶之後也會提升穿透率。...
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