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日期:2025-05-06
撞濺離子幫浦(Sputtering ion pump) 撞濺離子幫浦之工作原理: (1)真空高壓放電產生高速電子。 (2) 電子向陽極運動時受磁場磁力影響作螺旋 運動而折返陰極,但又受 ......
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日期:2025-05-08
RGA殘餘氣體分析儀,氣體分析儀,是質譜儀的一種,可連續監控製造過程所產生的污染氣體,並檢驗目標過程氣體的含量,分析應用於真空檢測,漏氣檢測,...
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日期:2025-05-11
殘餘氣體分析儀( Residual Gas Analyzer, RGA)是學界與業界用來了解系統真空各類狀況的主要工具,廣泛應用於系統測漏、殘氣比例分析、製程氣體分析、程溫脫附(thermal......
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日期:2025-05-07
而本文中所介紹的 殘餘氣體分析儀,則是一種非常有用的工具之一。B> 在高科技爆炸的20 ... 舉例說,機台經過週期性清洗保養後,利用 RGA來取得真空室內殘餘氣體分佈,及建立完整的資料庫以便於日後比對。 除了可以立即發現真空異常現象外,更能馬上......
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日期:2025-05-11
RGA殘餘氣體分析儀,氣體分析儀,是質譜儀的一種,可連續監控製造過程所產生的
污染氣體,並檢驗目標過程氣體的含量,分析應用於真空檢測,漏氣檢測,...
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日期:2025-05-08
可結合TPD、TPR等分析或其他過程. 進行尾氣中氣體成分的分析。 二、 實驗設備:.
殘餘的氣體分析儀(RGA) 被使用在真空. 研究應用將近25 年。他們的角色在最近十 ......
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日期:2025-05-09
在本文中筆者將與您一同探討利用質譜的殘餘氣體分析儀(Residual Gas Analyzer)
在各個不同的積體電路製造過程中的應用方法。除了首先簡單介紹RGA操作原理及 ......
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日期:2025-05-11
殘餘氣體分析儀(Residual Gas Analyzer,RGA)是學界與業界用來了解系統真空各
類狀況的主要工具,廣泛應用於系統測漏、殘氣比例分析、製程氣體分析、程溫脫 ......