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日期：2024-05-06
旋轉塗佈機 Spin coater使用說明： 1.本機共分四個計時器，用來控制時間 2.首先開啟電源開關 (POWER) a.第1個STEP 氮氣噴灑時間 b.第2個STEP 添加光阻劑時間 c.第3個STEP 第1段旋轉塗佈時間 d.第4個STEP 第2段旋轉塗佈時間 (按下START前請將時間設定 ......
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日期：2024-05-08
浸塗法(Dip Coating)：塗佈基材置入溶膠-凝膠塗液再拉出， ... 旋轉，塗液會隨著圓盤
快速的轉動佈滿圓盤表面，多餘的塗....
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日期：2024-05-08
目前片狀塗佈的方式較多應用浸沾式塗佈法及旋轉塗佈法，分別說明如. 下：. 1.浸沾
式塗佈法(Dip Coating). 浸沾式塗佈法有 ......
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日期：2024-05-05
旋轉塗佈(Spin Coating)： 旋轉夾盤(spin chuck)利用真空吸住玻璃基板後，將化學
物質（像半導體或TFT廠用光阻）由上方噴嘴(Nozzle)滴在玻璃或晶圓片上， ......
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日期：2024-05-04
2008年7月10日 ... 本研究以TFT-LCD 業未混雜到其他溶劑，且經過旋轉塗佈製程後，被甩離玻 ... 本
研究之塗佈膜厚預測方程式ln(THf) = 3.523 + 1.424 ln(S.C.) + 0.446 ...... 將光阻劑
均勻塗佈在玻璃基東之上，旋轉塗佈(Spin Coating)的製程原理，是利....
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日期：2024-05-06
1. 旋轉塗佈手指狀不穩定之控制. 主持人：周復初博士. 計畫編號：NSC 94-2212-E-
008 -019. 一、前言. 旋轉塗佈之原理是利用馬達. 帶動一轉盤，吸附著晶圓進行旋....
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日期：2024-05-06
儀器原理. 微影製程包括三個主要步驟：光阻塗佈、曝光和顯影。本機台主要是應用 ...
Bake）、塗底（Priming）和光阻旋轉塗佈（Spin Coating）、軟烤（Soft Bake）、對準和 ......
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