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www.digitimes.com.tw超純水過濾系統分為超純水(UPW)、去離子水(DI)，製程中原水需經過多道過濾設備，如逆滲透、UV、樹脂交換、過濾器等去除金屬物質、導電物質及顆粒雜質。早期在半導體製程中使用之UPW技術，多從歐美進口過濾系統，其後因瀏覽：848
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日期：2024-05-26
超純水過濾系統分為超純水(UPW)、去離子水(DI)，製程中原水需經過多道過濾設備，如逆滲透、UV、樹脂交換、過濾器等去除金屬物質、導電物質及顆粒雜質。早期在半導體製程中使用之UPW技術，多從歐美進口過濾系統，其後因...
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