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[技術] 無塵室(Clean Room)等級標準規格 - udn部落格
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日期：2025-10-01
2008年11月16日 - ... 之污染物排除。無塵室的等級是以一立方英呎含有多少大於0.5um的微塵粒子來定義的。下表是根據「美國聯邦標準209D規格」定義的無塵室級數。...看更多
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