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[技術專文] 用於MOCVD有機金屬原料之環境、健康及安全面向議題 - 《化合物半導體·光電技術》雜誌
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日期：2025-05-31
有機金屬化學氣相沈積法(Metalorganic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)，已經成為廣泛用於化合物半導體業的磊晶量產技術。有關製造過程中所產生的安全問題，諸如對操作人員及環境的影響，乃至於危害物質的最大容許量等等，自然...看更多
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