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一種在(100)矽基板上成長碳化矽薄膜的方法(b )
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日期：2025-05-26
Keyword: 碳化矽. E-mail: jch@mx.nthu.edu.tw. Phone: (03)5722577, Fax: (03)
5722577. 網站連結: http://mse.nthu.edu.tw/~jch/. 技術. 內容. 碳化矽具有高熔點、寬
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