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下載 - 國立中央大學
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日期：2025-06-07
爲了發展在(100)矽基板上成長氮化鎵晶體的技術，本論文以V槽. 化(100)矽基板 .....
V 槽化(100)矽基板製備的流程包括:矽基板清洗、成長二氧化. 矽、微影製程、乾 ......看更多
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