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不同添加氣體對微波電漿反應器分解四氟化碳之影響分析The ...
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日期：2025-12-16
本研究以低溫微波電漿反應器探討加入不同比例的添加氣體對於全. 氟化物(
Perfluorinated ... 實驗中使用自行設計之微波電漿反應器，以CF4 為模式氣體，配合
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