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乾式洗滌塔吸附劑之改性及對六氟化硫氣體吸附性能之研究
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日期：2025-06-03
中文摘要. 沸石吸附劑為半導體與光電產業常設之乾式洗滌塔所廣泛使用的吸. 附劑材料之一。本研究乃對四種不同的商用吸附劑，如沸石、活性氧化鋁、. 氫氧化鈣和錳 ......看更多
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