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以奈米壓痕分析氧化銦錫薄膜之機械性質 - 聖約翰科技大學
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日期：2025-06-07
此理論是最常被使用來分析奈米壓痕量測。其原理是利用一鑽石壓痕器壓入試片，藉
由偵測連續的荷重及位移曲線（Load-displacement curve），如圖1所示；硬度（H）及
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