以常壓電漿輔助化學氣相沈積製備疏水薄膜 - 機械工業雜誌

以常壓電漿輔助化學氣相沈積製備疏水薄膜 - 機械工業雜誌

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日期:2024-06-11
面鍍製疏水薄膜,以乾燥壓縮空氣(CDA)作為常壓噴射電漿之激. 發氣體,FAS(fluoroalkyl silanes)作為鍍膜單體,通過常壓電漿之. 作用,使薄膜沈積於基板表面。...看更多