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以有機化學氣相沉積法成長氧化鋅摻雜鎵之透明導電薄膜其 ...
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日期:2024-06-18
探討不同的TMGa流量及退火溫度對薄膜結晶特性、光學特性以及導電特性之影響及其相關性。最後利用MOCVD將GZO透明導電薄膜應用於藍光GaN-LED。經由快速 ......看更多