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低溫大氣電漿源設計與其在玻璃表面清潔製程之應用__臺灣博 ...
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日期:2025-06-09
多次實驗結果驗證以本研究之大氣電漿源清洗後之基板,其水滴接觸角皆小於10°,
符合業界對清潔製程標準之要求,可實際 ......看更多