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日期：2024-05-19
提升LED發光效率之製程方法 乾式蝕刻是一種非等向性蝕刻，乾式蝕刻與溼式蝕刻皆可朔造出不同形狀的圖案。溼式蝕刻關鍵在於溫度會影響蝕刻速率，時間則會影響圖案的高度、頭寬和底寬；乾式蝕刻關鍵在於氣體比例會影響圖案的高度和底部寬度 ......看更多
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