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光學式薄膜及基材厚度量測系統-勤友企業股份有限公司
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日期：2025-06-08
技術簡介 反射光譜式膜厚量測原理 以光譜儀搭配取像探頭，量測光源入射基板及薄膜後的反射干涉光譜，並透過演算法計算出薄膜材料的厚度 薄膜參數與光譜之關係簡介 由不同的薄膜之薄膜厚度及n, k材料參數，可推導出不同薄膜膜層結構於各波長之 ......看更多
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