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光阻減量 - ::: 國立中央大學機械工程學系 :::

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日期：2025-05-25
為達成光阻液於晶圓表面均勻 塗佈之 目的，製程上多採用 旋轉塗佈(Spin Coating)之技術加工施作 施作之機械即所謂旋塗加工機(Spin ......看更多

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