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利用I-line雙重微影成像法製作多晶矽鰭式場效電晶體（FinFET）
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日期：2025-06-03
在本文中，我們首次利用I-line 步進機搭配雙重微影成像法（Double Patterning）的技術來製作p- 通道的鰭式場效電晶. 體（FinFET）。利用in-line SEM 分析元件的fin ......看更多
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