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半导体蚀刻技术_百度文库 - 百度文库——让每个人平等地提升自我
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日期：2025-05-03
... (導體、 半導體、絕緣體)蝕刻的介紹、 微負載效應及電漿導致損壞等。 5-1-1 蝕刻技術中的術語 5-1-1a 等向性與非等向性蝕刻( Isotropic ......看更多
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