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半導體科技新聞 - imec、ASML簽署五年合作協議 並推出用於ASML次世代微影工具的EUV感測器 - Semicondutor News, Science ...
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日期：2025-05-06
此外，imec 亦將與 ASML 合作研發其運算式微影 (computational lithography) 工具及先進量測平台 Yieldstar S200 ......看更多
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