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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 光譜量測範圍對光學臨界尺寸分析的準確性與重現性之影響 - Semicondutor Magazine
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日期：2025-05-23
10pt 3>FRANZ HEIDER／Infineon Technologies, Villach, Austria JEFF ROBERTS, JENNIE HUANG, JOHN LAM and RAHIM FOROUHI／n&k ... 圖一：錐形溝槽的橫截面 SEM 圖像（左）和 n&k 分析軟體的結構模型（右）。模型與 SEM 圖像是一致的溝槽輪廓。...看更多
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