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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 半導體製程排氣之安全管理 - Semicondutor Magazine
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日期：2025-12-14
林義凱 / 台積電三廠工安環保部 劉美娟 / 工研院材料所工業安全衛生室 分析半導體產業1986年至1996年之災害，我們發現通風排氣系統(包含Fume Exhaust、HVAC、Gas Cabinet、Local Scrubber)為災害發生之主要原因。本文就以介紹半導體廠務製程排氣(fume ......看更多
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