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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 噴霧式光阻塗佈的新應用 - Semicondutor Magazine
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日期：2025-06-06
本文討論噴霧式光阻塗佈(Spray Coating)的多種應用，此項技術最初是發展用來處理一些對光阻塗佈最有挑戰性的基材表面，外形及斜面的光阻塗佈。和標準光阻塗佈製程相比它也可顯著的減少光阻用量且保持良好的塗佈均勻性。他也被發現可用於圓形基材及 ......看更多
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