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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 微電子之品質管理 量測儀器(Metrology)Tools提供之解決辦法 - Semicondutor Magazine
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日期：2025-06-06
Thomas Fries, Paul Flynn, Paul Lamm, FRT of America 生產微米或者奈米元件製程中具備次奈米之精準度(為金原子半徑的範圍)是必要的。不過，要在整合及組裝過程中有如此精確之生產精準度幾乎是不可能的。 測量微電子元件精準度及定位精準度的儀器需有奈米 ......看更多
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