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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 自動化數據分析提高 LED 製造中 MOCVD 磊晶製程的良率 - Semicondutor Magazine
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日期：2024-04-25
空間圖樣辨識 空間圖案辨識（ SPR ），是查看基板表面上缺陷位置之間的關係。當檢測到異常時，空間性圖樣往往能夠快速地確認出缺陷的根本原因（圖 2 ）。綠色的分佈圖是一個包含了 589 張獨立的缺陷分佈圖。...看更多
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