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半導體科技.先進封裝與測試雜誌- 無塵室風機-濾網機組的測試 ...
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日期：2025-04-26
鄭名山/ 工研院能資所所謂風機-濾網機組(Fan-filter Unit，FFU)，是安裝在無塵室天花板上或機台上方，提供無塵室與機台所需的氣流循環與空氣過濾。由於使用的簡便 ......看更多
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