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博碩士論文 etd-0929109-135722 詳細資訊
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日期：2024-04-28
圖 2- 11 陽極接合原理 17 圖 2- 12 化合物滯留時間示意圖 18 圖 3- 1 微流道圖形形式 21 圖 3- 2 微流道的佈局 22 圖 3- 3 濕式蝕刻微流道製作流程圖 25 圖 3- 4 乾式蝕刻微流道製作流程圖 26 圖 3- 5 微流道(寬200μm、深100μm)之SEM圖 27 圖 3- 6 螺旋型微流道SEM圖...看更多
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