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國立中興大學-光電半導體製程中心 - 國立中興大學電機工程學系
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日期：2025-10-27
本無塵室中心座落於中興大學電機大樓九樓的教室-901。 本無塵室主要有製程的
設備以及量測的設備機台。 製程機台：. l RETA (快速回火升溫爐). l PECVD (電漿
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