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壓電薄膜加速度微感測元件之製程規劃與研究
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日期：2025-06-06
如壓電薄膜）與微電子電路整合在同一晶片. 上，即可製作成微型的感測器。由於微感
測器的. 製程技術基本上與一般積體電路 ......看更多
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