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壓電薄膜加速度微感測器之系統模擬分析
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日期:2025-12-06
本文並應用有限元素分析軟體ANSYS,分析加速度感測器微結構之自然頻率. 及輸出
響應,以驗證所推導之理論模式。...看更多












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