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壓電薄膜微加速度計之製程分析與設計最佳化
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日期：2025-05-25
1 壓電薄膜微加速度計之製程分析與設計最佳化 蕭志誠 余志成* 國立台灣科技大學 機械工程系 摘要 本文整合表面及立體微細加工技術，進行 壓電薄膜微加速度計之元件製作，並描述各個製 程參數，作為往後實作的依據，並針對薄膜的電...看更多
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