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壓電薄膜微加速度計之製程分析與設計最佳化
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日期：2025-11-17
4 理想的加速度微感測器之敏感度值為越大 越好，其轉移函數之大小值為： 2 2 2 1 2() ( ) n n n wi i S z e ζω ω τ τ β + ⋅ + = = ⋅ & (3) 田口品質工程以訊噪比（S/N）來定義其目 標函數，加速度計為一動態問題，訊號因子為待...看更多
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