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壓電薄膜加速度微感測器之系統模擬分析

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日期：2025-06-03
本文並應用有限元素分析軟體ANSYS，分析加速度感測器微結構之自然頻率. 及輸出 響應，以驗證所推導之理論模式。...看更多

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