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大尺寸晶圓 - ::: 國立中央大學機械工程學系 :::
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日期：2025-10-11
本計畫之主要 目的，在於觀察科氏力(CoriolisForce)對於 旋轉塗佈液膜不穩定之研究。在現有對 旋轉塗佈 ......看更多
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