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奈米通訊。第六卷第四期 1.半導體製程排放之揮發性有機廢氣之控制技術
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日期：2025-12-12
目前工業界普遍使用的有機廢氣處理技術包括液體吸收法、活性碳吸附法 、高溫焚化法、觸煤焚化法、以及生物分解法。各項技術皆有其技術或經濟效益上之利弊。在此簡單述如下： (一)液體吸收法 吸收法係藉由液體與氣體接觸，使氣體中的有機分子 ......看更多
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