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实验18 MOS结构高频C-V特性测试
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日期：2025-06-18
MOS结构高频C-V特性测试. MOS结构电容-电压特性（简称C-V特性）测量是检测
MOS器件制造工艺的重要手段。它可以方便地确定二氧化硅层厚度、衬底掺杂浓度N
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