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富臨科技成功開發次微米圖案化藍寶石基板PSS蝕刻製程(99/04)
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日期:2024-05-25
目前常用提升亮度的作法,業界常使用圖案化藍寶石基板(Patterned sapphire substrate,PSS),此技術不僅可以有效的減少差排密度,還可提升光取出效率. 然 而此一應用技術目前有兩大方式來進行,早期的蝕刻技術多利用濕式蝕刻的方式 ......看更多