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實現諧振器與CMOS電路堆疊設計MEMS振盪器穩定性大躍進- 封面 ...
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日期：2025-12-14
單晶片MEMS振盪器可把MEMS諧振器，直接堆疊在CMOS擴大器基座的上方，使
MEMS振盪器的可靠性、可編程性、溫度穩定性和成本競爭力得以更上層樓，可望
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