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工業技術研究院- 可移轉技術- 微氣體感測器
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日期：2025-11-15
本技術主要應用微機電製程製作氣體感測器之加熱器、溫度感測器及氣體感測電極。
其原理利用加熱器控溫至作動溫度，因偵 ......看更多
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