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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 掃描探針顯微鏡之發展 - Semicondutor Magazine

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日期：2024-05-15
劉有台 / 工研院化學工業研究所 掃描探針顯微鏡技術(Scanning Porbe Microscopy，SPM)具有可分析微米結構以下之能力，其解析能力可到原子、奈米及分子尺寸上。掃描穿隧顯微鏡原理是利用電子穿隧的效應(tunneling effect)來得影像，樣品須要有導電性。原子力 ......看更多

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