微型壓阻式壓力感測器製作之研究__臺灣博碩士論文知識加值系統

微型壓阻式壓力感測器製作之研究__臺灣博碩士論文知識加值系統

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日期:2025-12-20
摘要本研究應用微機電製程技術之表面微細加工技術製作陣列式微型壓阻式壓力感 測器,此壓力感測器將應用於量測鈍型體前緣流場之特性。感測器上的壓阻應變規 ......看更多