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微型環境感測器之設計製作及應用

微型環境感測器之設計製作及應用

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日期：2025-06-18
MEMS)製作微型感測器已成為熱門的研究課題，不僅感測元件. 的體積微小化，隨之 ..... 傳統溼度感測器的感測原理包含:電容式、電阻式、濕氣吸. 附式、測重式及光學 ......看更多

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