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微型環境感測器之設計製作及應用
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日期：2025-11-16
MEMS)製作微型感測器已成為熱門的研究課題，不僅感測元件. 的體積微小 ... 微型
感測器為微機電系統中之一大重要元件(圖一)，藉由. 其感測 .... 及製作具高靈敏度之
可撓式微型溫度感測器陣列，可量測曲面....看更多
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